中山大學環境工程研究所教授張耿崚表示，XRF檢測像一把槍，透過手持式掃瞄數秒中內僅可初篩埋在土裡物品的表面，但掃不到物品的深度濃度，採樣樣品相當不均勻，較不精確，但法規採用的TCLP採樣後需磨碎再經過48小時依不同酸濃度溶解開的溶出物質進行分析，所取得的檢驗勻質則較精確。有害物質它若很穩定沒有溶出來，仍屬於一般廢棄物，反之若溶出有害物質則屬有害事業廢棄物。