此次「科研創業計畫」成果之一的「創新半導體缺陷消除技術」，是由中山大學教授張鼎張團隊獨家自主開發的全新低溫半導體製程技術與設備，此創新技術改善了過去常用的高溫退火爐管技術，利用低溫的優點有效提升了半導體元件的導通效率，並可改善半導體元件可靠度與良率；適用於寬能隙半導體元件、前瞻奈米元件、光電元件與材料。